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单侧电极inficon电容薄膜真空规管结构图郭占社等提出了基于峰值检测的微电容测量法,inficon真空计控制器维保,该方法可用于检测inficon设备上的单一电容变化量。电路采用实时峰值检测技术,只检测待测电容的变化量。 首先正弦载波信号及微分电路对inficon器件输出的电容量进行载波调制,然后通过减法电路得到幅值与电容变化量成比例的正弦信号, 很后用峰值检测方法对信号进行解调,得到直流输出。测试结果表明,该测量电路具有---的线性,测量精度可以达到2%,inficon真空计控制器出售,灵敏度可以达到3.6v/pf。但该电路不易于小型化集成。
图2基于峰值检测的微电容测量电路框图wang等设计了一种具有宽温度范围的基于cmos的微电容测量电路。 电路采用相关双采样方法,vref为输入参考电压,时钟信号φ1、φ2通过控制开关控制电容的充放电从而完成对敏感电容的测量。保持电容ch1、ch2用来存储和消除低频噪声及运算放大器的偏置电压。
电路采用结构简单、性能稳定的二阶σ-δ调制器来实现高的分辨率,其中电容c3=2c4。测量过程分为两个阶段,当信号cal置“0”时,电路处于正常工作状态,输出为y;当信号cal置“1”时,电路处于校准状态,c1和c2位置互换,此时输出为y′。两种状态下的输出信号都包含由时钟反馈回路、电荷注入效应、开关漏电流等产生的噪声,两者相减即可消除这些噪声。
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inficon电容塑料薄膜真空计,电路为闭环控制构造,包含微电容测量电路和静电力控制电路,在其中静电力控制电路用于造成平衡---塑料薄膜的静电力,系统对的测量特性拥有---重要的危害,inficon真空计控制器价格,该方式在---真空计高度测量的并且还能扩宽其动态性测量范围。
inficon电容塑料薄膜真空计用以真空泵测量,萝岗区inficon真空计,规定在较宽的工作压力测量范围可以测出较小的工作压力变化量,与此同时必须达到深空探测、临近空间检测及其流体力学试验等运动中测量仪器设备微型化的规定,因此测量电路应当在达到测量规定的条件下尽量完成一体化、微型化、功能损耗低。
因而,对于不一样电级构造的inficon电容塑料薄膜真空计微电容测量电路应向着便于集成化、微型化的角度发展趋势。因为根据电源开关电容法的微电容测量电路便于集成化,而静电平衡构造的微电容测量法有扩宽动态性测量范围的优点,因而根据二者融合的微电容测量电路有希望完成对inficon电容塑料薄膜真空计总体测量特性的提高。
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inficon真空紧凑型的校准泵组就能够组建起这样一个系统。谱拓认为这个易于使用的便携式系统是专为同时在线进行多个仪器检测而量身定做的。其系统具有使用便捷、快速及符合人体工学标准的特点。
校准要求
在进行校准前,必须满足如下条件:
***系统---压力ρe必须超过 很小校准压力ρmin的50倍
(ρe≤ρmin/50)
***环境温度必须恒定(±1°c)
***校准系统必须热稳定
***标准真空计和其他真空计在测量时真空度必须稳定
inficon真空解决方案
inficon真空提供了一套紧凑、便携的泵组用于校准。这套泵组由一套涡轮分子泵组(例如,hicube80eco)和一个采用玻璃珍珠喷沙工艺的不锈钢腔体组成。
涡轮分子泵组由一个带holweck级的(hipace80)涡轮分子泵和一款干式压缩隔膜泵(mvp015-2)组成。这款泵组的抽速 ---可达67l/s并且 很终真空度可达110-7 hpa。
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