汕尾ULVAC分子泵维修养护服务 广东潽拓光电

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咱们平时总是说这对情侣很般配，经常用---，天作之合来形容他们。其实万物也总是相伴而生，在真空的里，也有一对不离不弃的“---”。我们习惯称这对---为前级真空泵和高真空泵。前级泵必须满足特定的抽气速度和---真空，并且可以持续的---时间运行，高真空泵---真空---，只有分子泵才能有此能力。

低温泵的结构通过2段式实现高真空。冷头有2段、１段冷头有较大的冷冻能力，可冷却至80k(卡尔文以下。至此，主要是水分的排出，接下来2段冷头进一步冷却，排出n2，o2，ar，h2等分子，以获得更高的真空。低温泵的冷冻机为2段式，1段具有较大的制冷能力，可以冷却至80k或---，2段的制冷能力较小，可以冷却至10至12k。15k挡板(1)(冷凝板)和15k挡板(2)(吸附板)安装在冷冻机的2段上80k挡板和80k屏蔽桶安装在制冷能力较大的1段上，防止受到室温的热(辐射)。另外，为了防止吸附剂表面被覆盖，吸附剂被安装在浓缩性气体不能进入的挡板的内侧。

选择爱发科低温泵的理由

爱发科低温泵在lcd产业市占率100%、oled产业市占率95%、在光学薄膜制造方面市占率85%。

爱发科低温泵根据fpd、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同，从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

爱发科设立了低温泵开发&制造基地，形成了完善的销售和售后体系。

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分子泵油池安装注意事项、拆油、油量控制、油池卫生，防颗粒、对好、对称上紧螺钉，防止有漏

3进出口法兰、冷却水安装、泵入口：对正、对称拧紧、泵出口：防止错位、冷却水：无漏水；入口水压0.2mpa；水温20±５℃；水质澄清无沉淀注意：环境温度：风冷需小于32℃;水冷可至40℃入口压强：强制风冷

电缆安装注意事项、对正槽口插入、用螺母拧紧，边插边拧、检查---

5振动隔离、冲击防护

1分子泵振动，可直接接于被抽系统。对于高精密仪器的应用如电子显微镜，建议使用隔振器，以便很大可能的减少振动。2冲击防护：高速旋转、间隙很小、柔性支撑机械振动预抽泵、前级泵、机械动作等

气体振动气量突变、压强突变

意外振动掉入异物、碰撞等注意：没有对泵进行---防护，容易造成分子泵---的破坏、甚至碎泵。

6---、热气体、突变气载

a引起问题：温度升高；动静片变形；转子上移；润滑失效5℃原则；轴承失效b.措施：加大水冷；增加冷却装置；缩短换油时间

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传统的动平衡技术通过增加额外的，例如动平衡配重块，来减少分布的不均匀。动平衡借助机械加工流程而得到广泛使用，其中包括诸如磨削以及通过钻孔去除材料等工艺。在传统的动平衡过程中，转子的径向偏移是在轴承附近的两个测量层测量的。转子的不平衡度利用一种特殊的算法来确定。为了降低总不平衡程度，转子沿旋转轴分成多个平衡等级，每个等级都有相应的孔。

动平衡配重块沿着各平衡等级的圆周手动拧入。这样就降低了分布的不均匀，转子的剩余不平衡度被减少到所需的---值以下。这里的不平衡度将在多种速度下确定，并逐步完成补偿，从而降低转子的振动并达到额定速度。

近些年来，涡轮分子泵的应用场景越来越多，许多制造领域以前常用低温泵和扩散泵来作为真空泵，目前已多被涡轮分子泵所取代。此外，随着相关应用领域对工作环境的要求越发严苛，对涡轮分子泵也提出了更高要求，---在次级特性方面。因此，高速转子一直需要进一步开发，包括转子的使用寿命、振动水平即泵壳上发出的声响和振动，以及基于部件表面脱气性能方面的洁净度指标。

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